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Theoretical and experimental results of an electrostatic micro motor with large gear ratio fabricated by the LIGA process

Wallrabe, Ulrike; Bley, Peter; Krevet, B.; Menz, Wolfgang; Mohr, Juergen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 195892
Erscheinungsvermerk In: Micro-Electro Mechanical Systems '92, Travemuende (Germany) 1992. Ed.: W. Benecke. New York, NY 1992. S. 139-140.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S94
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