Theoretical and experimental results of an electrostatic micro motor with large gear ratio fabricated by the LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 195892 |
| Erscheinungsvermerk | In: Micro-Electro Mechanical Systems '92, Travemuende (Germany) 1992. Ed.: W. Benecke. New York, NY 1992. S. 139-140. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S94 |