Molding of threedimensional microstructures by the LIGA process

Harmening, Michael; Bacher, Walter; Bley, Peter; El-Kholi, A.; Kalb, H.; Kowanz, Bernd; Menz, Wolfgang; Michel, Andreas; Mohr, Juergen

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 195992
Erscheinungsvermerk	In: Micro-Electro Mechanical Systems '92, Travemuende (Germany) 1992. Ed.: W. Benecke. New York, NY 1992. S. 202-207.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 93S95