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Molding of threedimensional microstructures by the LIGA process

Harmening, Michael; Bacher, Walter; Bley, Peter; El-Kholi, A.; Kalb, H.; Kowanz, Bernd; Menz, Wolfgang; Michel, Andreas; Mohr, Juergen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 195992
Erscheinungsvermerk In: Micro-Electro Mechanical Systems '92, Travemuende (Germany) 1992. Ed.: W. Benecke. New York, NY 1992. S. 202-207.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S95
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