Microactuators in LIGA technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 196092 |
| Erscheinungsvermerk | Int. j. of appl. electromagnet. in mater. 2 (1992) S. 281-284. und In: Electromagnetic forces and applications. Ed.: J. Tani. Amsterdam 1992. S. 1-4. (Elsevier studies in applied electromagnetics in materials. 1.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S96 |