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Microactuators in LIGA technique

Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 196092
Erscheinungsvermerk Int. j. of appl. electromagnet. in mater. 2 (1992) S. 281-284. und In: Electromagnetic forces and applications. Ed.: J. Tani. Amsterdam 1992. S. 1-4. (Elsevier studies in applied electromagnetics in materials. 1.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S96
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