Cluster ion sources (invited)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 196292 |
| Erscheinungsvermerk | Rev. of sci. instrum. 63 (1992) S. 2374-2379. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S98 |