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Cluster ion sources (invited)

Hagena, Otto-Friedrich


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 196292
Erscheinungsvermerk Rev. of sci. instrum. 63 (1992) S. 2374-2379.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S98
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