KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Cluster ion sources (invited)

Hagena, Otto-Friedrich



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 196292
Erscheinungsvermerk Rev. of sci. instrum. 63 (1992) S. 2374-2379.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S98
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page