The LIGA technique in microsystem technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 196392 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | MST News |
| Seiten | 1-2 |
| Erscheinungsvermerk | mst news 1992 H. 2 S. 1-2. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S100 |