KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

The LIGA technique in microsystem technology

Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 196392
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erschienen in MST News
Seiten 1-2
Erscheinungsvermerk mst news 1992 H. 2 S. 1-2.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S100
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page