Techniken zur Entwicklung fluidischer Mikroaktorelemente

Schwarz, A.; Schmidt, B.; Bley, Peter; Hein, H.; Menz, Wolfgang; Vollmer, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1992
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 196492
Erscheinungsvermerk	In: Beitraege zum Fachgebiet Pneumatik. 10. Aachener Fluidtechnisches Kolloquium, 1992. S. 153-170.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 93S101