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3.5 my-m thin valves in titanium membranes

Schomburg, W.K.; Scherrer, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 196892
Erscheinungsvermerk In: Workshop digest. MME '92. Micromechanics Europe 1992. 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, Belgium 1992. S. 106-109.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S105
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