3.5 my-m thin valves in titanium membranes
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 196892 |
| Erscheinungsvermerk | In: Workshop digest. MME '92. Micromechanics Europe 1992. 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, Belgium 1992. S. 106-109. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S105 |