Examination of long-term stability of metallic LIGA-microstructures by electromagnetic activation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 196992 |
| Erscheinungsvermerk | In: Workshop digest. MME '92. Micromechanics Europe 1992. 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, Belgium 1992. S. 174-177. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S107 |