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Examination of long-term stability of metallic LIGA-microstructures by electromagnetic activation

Mohr, Juergen; Strohrmann, Manfred



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 196992
Erscheinungsvermerk In: Workshop digest. MME '92. Micromechanics Europe 1992. 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, Belgium 1992. S. 174-177.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S107
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