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Microactuators fabricated by the LIGA process

Mohr, Juergen; Bley, Peter; Strohrmann, Manfred; Wallrabe, Ulrike



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 197092
Erscheinungsvermerk In: Conference proceedings. Actuator 92. 3rd International Conference on New Actuators, Bremen, Germany 1992. Ed.: H. Borgmann. VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik. S. 19-23.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S108
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