Microactuators fabricated by the LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 197092 |
| Erscheinungsvermerk | In: Conference proceedings. Actuator 92. 3rd International Conference on New Actuators, Bremen, Germany 1992. Ed.: H. Borgmann. VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik. S. 19-23. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S108 |