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Alternative Methoden der Siliziumbearbeitung. Plasmaloses Aetzen mit halogenhaltigen Gasen, Mikrostrukturierung mit Diamantwerkzeugen

Bier, W.; Guber, A.; Koehler, Uwe Erich; Linder, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 197192
Erscheinungsvermerk In: Geraetetechnik und Mikrosystemtechnik. Duesseldorf 1992. Bd. 2. S. 735-740. (VDI-Berichte. 960.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S109
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