Alternative Methoden der Siliziumbearbeitung. Plasmaloses Aetzen mit halogenhaltigen Gasen, Mikrostrukturierung mit Diamantwerkzeugen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 197192 |
| Erscheinungsvermerk | In: Geraetetechnik und Mikrosystemtechnik. Duesseldorf 1992. Bd. 2. S. 735-740. (VDI-Berichte. 960.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S109 |