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Mikromembranen fuer beruehrungslose Messungen mit Ultraschall

Schomburg, W.K.; Walter, M.; Koehler, R.; Liebig, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 197392
Erscheinungsvermerk In: Sensoren. Duesseldorf 1992. S. 543-548. (VDI-Berichte. 939.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S111
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