| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 197392 |
| Erscheinungsvermerk | In: Sensoren. Duesseldorf 1992. S. 543-548. (VDI-Berichte. 939.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S111 |