Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 197392 |
Erscheinungsvermerk | In: Sensoren. Duesseldorf 1992. S. 543-548. (VDI-Berichte. 939.) |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S111 |