Herstellung beweglicher Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 197592 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Zeichnen |
| Heft | 2 |
| Seiten | 40-42 |
| Erscheinungsvermerk | Zeichnen 1992 H. 2 S. 40-42. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S113 |