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Herstellung beweglicher Mikrostrukturen

Bley, Peter; Burbaum, Christoph; Mohr, Juergen; Wallrabe, Ulrike



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 197592
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erschienen in Zeichnen
Heft 2
Seiten 40-42
Erscheinungsvermerk Zeichnen 1992 H. 2 S. 40-42.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S113
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