KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

The LIGA technique - what are the new opportunities

Rogner, A.; Eicher, J.; Peters, R.-P.; Mohr, Juergen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 197692
Erscheinungsvermerk In: Workshop digest. MME '92. Micromechanics Europe 1992. 3rd Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Leuven, Belgium 1992. S. 118-140.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S114
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page