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Halogen exchange reactions of silicon tetrachloride with fluorine and fluorine- containing substances

Guber, A.; Koehler, Uwe Erich



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 197792
HGF-Programm 41.04.02; LK 01
Erschienen in Journal of Fluorine Chemistry
Band 58
Seiten 320
Erscheinungsvermerk J. of fluorine chem. 58 (1992) S. 320.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S117
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