Halogen exchange reactions of silicon tetrachloride with fluorine and fluorine- containing substances
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen ID: 197792 |
| HGF-Programm | 41.04.02; LK 01 |
| Erschienen in | Journal of Fluorine Chemistry |
| Band | 58 |
| Seiten | 320 |
| Erscheinungsvermerk | J. of fluorine chem. 58 (1992) S. 320. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S117 |