Halogen exchange reactions of silicon tetrachloride with fluorine and fluorine-containing substances
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0022-1139, 1873-3328 KITopen-ID: 197792 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of fluorine chemistry |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 58 |
| Heft | 2-3 |
| Seiten | 320 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S117 |