Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 197992 |
Erscheinungsvermerk | In: Micro-system technologies 92. Ed.: H. Reichl. Berlin 1992. S. 297-307. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S120 |