| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 197992 |
| Erscheinungsvermerk | In: Micro-system technologies 92. Ed.: H. Reichl. Berlin 1992. S. 297-307. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S120 |