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Coupling elements for multimode fibers by the LIGA process

Goettert, Jost; Mohr, Juergen; Mueller, C.; Sautter, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 197992
Erscheinungsvermerk In: Micro-system technologies 92. Ed.: H. Reichl. Berlin 1992. S. 297-307.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S120
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