Ergebnisbericht ueber Forschungs- und
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 198192 |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruhe 1992. (KfK. 5032.) |