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Ergebnisbericht ueber Forschungs- und




Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 198192
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1992. (KfK. 5032.)
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