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Ergebnisbericht ueber Forschungs- und




Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 198192
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1992. (KfK. 5032.)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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