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Zugehörige Institution(en) am KIT
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp
Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr
1992
Sprache
Deutsch
Identifikator
KITopen-ID: 198192
Erscheinungsvermerk
Karlsruhe 1992. (KfK. 5032.)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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