Application of the LIGA process in fabrication of three-dimensional mechanical microstructures

Bley, Peter; Menz, Wolfgang; Bacher, Walter; Feit, K.; Harmening, Michael; Hein, H.; Mohr, Juergen; Schomburg, W. K.; Stark, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 198292
Erscheinungsvermerk	In: Proceedings. 1991 International MicroProcess Conference. S. 384-389. (JJAP series. 5.)
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 93S106