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Application of the LIGA process in fabrication of three-dimensional mechanical microstructures

Bley, Peter; Menz, Wolfgang; Bacher, Walter; Feit, K.; Harmening, Michael; Hein, H.; Mohr, Juergen; Schomburg, W.K.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 198292
Erscheinungsvermerk In: Proceedings. 1991 International MicroProcess Conference. S. 384-389. (JJAP series. 5.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S106
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