Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 198392 |
HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | LOT-Spectrum |
Band | 48 |
Seiten | 11 |
Erscheinungsvermerk | Spectrum, Darmstadt 48 (1992) Sept. S. 11. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S116 |