| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 198392 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | LOT-Spectrum |
| Band | 48 |
| Seiten | 11 |
| Erscheinungsvermerk | Spectrum, Darmstadt 48 (1992) Sept. S. 11. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S116 |