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Untersuchungen an ionenimplantierten Kontakten in Silizium- und Germanium-Einkristallen zur Herstellung von Halbleitersperrschichtzaehlern

Meyer, O.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1969
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200003402
Erscheinungsvermerk Dissertation, Univ. Karlsruhe 1969
Art der Arbeit Dissertation
Prüfungsdaten 01.01.1969
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