Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Roentgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trennduesenelemente
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1984 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200019885 Reportnummer: KFK-3732 |
| Erscheinungsvermerk | KfK-3732 (April 84) Dissertation D. Muenchmeyer, Universitaet Karlsruhe, 1984 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | 01.01.1984 |