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Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Roentgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trennduesenelemente

Becker, E.W.; Ehrfeld, W.; Muenchmeyer, D.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/200019885
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1984
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200019885
Reportnummer: KFK-3732
Erscheinungsvermerk KfK-3732 (April 84) Dissertation D. Muenchmeyer, Universitaet Karlsruhe, 1984
Art der Arbeit Dissertation
Prüfungsdaten 01.01.1984
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