Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturuebertragung bei der Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200025488 Reportnummer: KFK-4414 |
| Erscheinungsvermerk | Dissertation (J. Mohr), Universitaet Karlsruhe 1987 KfK-4414 (Juli 88) |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | 01.01.1987 |