Anpassung der spektralen Verteilung der Synchrotronstrahlung fuer die Roentgentiefenlithografie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200027638 Reportnummer: KFK-4579 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | KfK-4579 (Mai 89) Dissertation (B. Maid), Universitaet Bonn 1989 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | 01.01.1989 |