KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Anpassung der spektralen Verteilung der Synchrotronstrahlung fuer die Roentgentiefenlithografie

Maid, B.; Ehrfeld, W.; Hormes, J.; Mohr, J.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200027638
Reportnummer: KFK-4579
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk KfK-4579 (Mai 89) Dissertation (B. Maid), Universitaet Bonn 1989
Art der Arbeit Dissertation
Prüfungsdaten 01.01.1989
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page