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Anpassung der spektralen Verteilung der Synchrotronstrahlung fuer die Roentgentiefenlithografie

Maid, B.; Ehrfeld, W.; Hormes, J.; Mohr, J.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 200027638
Reportnummer: KFK-4579
HGF-Programm 16.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk KfK-4579 (Mai 89) Dissertation (B. Maid), Universitaet Bonn 1989
Abschlussart Dissertation
Prüfungsdaten 01.01.1989
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