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Konzeption, Aufbau und Test eines Systems zur Drehzahlmessung an rotierenden LIGA-Mikrostrukturen

Himmelhaus, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200031792
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1992
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1992
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