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Herstellungseinfluesse auf globale und lokale Masshaltigkeiten von Roentgenmasken fuer das LIGA-Verfahren

Heidinger, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200032028
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1991
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1991
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