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Untersuchung des Verhaltens von mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik

Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 200032029
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1991
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1991
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