KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Untersuchung des Verhaltens von mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik

Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200032029
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1991
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1991
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page