Untersuchung des Verhaltens von mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200032029 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1991 |
| Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Diplom |
| Prüfungsdaten | 01.01.1991 |