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Analyse des Leistungsvermoegens eines mit der Roentgentiefenlithographie hergestellten optischen Demultiplexers

Mueller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 200032031
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1991
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1991
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