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Prozess zur lichtoptischen Herstellung von Mikrostrukturen in positivem Photolack AZ 4562

Schneider, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 200032973
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1992
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1992
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