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Untersuchung elektromagnetischer Aktorprinzipien fuer Mikrostukturen in LIGA-Technik

Schott, C.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200033643
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1992
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1992
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