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Bestimmung der Reibung von elektrostatischen Mikromotoren, hergestellt nach dem LIGA-Verfahren

Sulzmann, A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200033724
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universitaet Karlsruhe 1993
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1993
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