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Entwicklung eines RIE-Prozesses für die Fertigung von Beschleunigungssensoren durch Abformung und Galvanik

Wegner, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200035704
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1994
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1994
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