Ein neues Meßprinzip für die Temperaturerhöhung auf Röntgenmasken während des Bestrahlngsprozesses im Rahmen des LIGA-Verfahrens
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200036138 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1994 |
| Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Diplom |
| Prüfungsdaten | 01.01.1994 |