KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Statistische Untersuchung der Steuergrößen des LIGA-Abformprozesses und deren Einfluß auf die Qualität von PMMA-Mikrostrukturen

Finger, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 200036140
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1994
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page