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Statistische Untersuchung der Steuergrößen des LIGA-Abformprozesses und deren Einfluß auf die Qualität von PMMA-Mikrostrukturen

Finger, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200036140
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1994
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1994
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