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Dimensionierung eines mikromechanischen Drehgeschwindigkeit-Sensors (Mikrogyrometers)

Albrecht, Ch.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200037338
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1995
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1995
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