Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2000374103 KITopen-ID: 200037410 Reportnummer: FZKA-5576 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5576 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | 01.01.1995 |