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Herstellung von Mikrolinsen durch Silizium-Mikromechanik, Mechanische Mikrofertigung und Kunststoffabformung

Ott, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200038698
HGF-Programm 41.07.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1995
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1995
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