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Untersuchung der Maßhaltigkeit von Röntgenarbeitsmasken mit Polyimid-Trägerfolie

Tschöke, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 200039225
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Fachhochschule Karlsruhe 1995
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1995
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