Entwicklung eines Prozesses zum reaktiven Ionenätzen von Silicium mit elementarem Fluor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200039403 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1996 |
| Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Diplom |
| Prüfungsdaten | 01.01.1996 |