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Entwicklung eines Prozesses zum reaktiven Ionenätzen von Silicium mit elementarem Fluor

Brandner, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 200039403
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1996
Abschlussart Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1996
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