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Entwicklung und Charakterisierung eines Dünnschichtsystems zur Herstellung beweglicher Mikrostrukturen in Opferschichttechnik

Riffel, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200040847
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1996
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1996
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