Weiterentwicklung des plasmalosen Br₂/F₂-Ätzprozesses für Silicium, Herstellung eines Abformwerkzeugs für Mikrolinsen und deren erste optische Vermessung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200041739 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Diplomarbeit, Fachhochschule Lübeck 1997 |
| Art der Arbeit | Abschlussarbeit - Diplom |
| Prüfungsdaten | 01.01.1997 |