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Optimierung des Bondprozesses und Vergleich zum Klebeprozeß für die Herstellung von Röntgentiefenlithographiestrukturen

Gabriel, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200043369
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1998
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1998
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