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Methode zur Qualifizierung von geprägten LIGA-Mikrospektrometerbauteilen in der Prozeßkontrolle

Geiger, E.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 200045531
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Diplomarbeit, Universität Karlsruhe 1999
Art der Arbeit Abschlussarbeit - Diplom
Prüfungsdaten 01.01.1999
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