| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200048803 Reportnummer: FZKA-6514 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6514 (Dezember 2000) Dissertation (A.C.M. Ruzzu), Universität Karlsruhe 2000 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | 01.01.2000 |