| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200050840 Reportnummer: FZKA-6671 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6671 (November 2001) Dissertation (T.Rogge), Universität Karlsruhe 2001 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | 01.01.2001 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |