| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200051959 Reportnummer: FZKA-6718 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6718 (April 2002) Habilitationsschrift, Universität Karlsruhe 2002 |
| Art der Arbeit | Habilitation |
| Prüfungsdaten | 01.01.2002 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |