Fehllicht in LIGA-Mikrospektrometern
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 200055723 Reportnummer: FZKA-6885 |
| HGF-Programm | 41.08.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6885 (Oktober 2003) Dissertation (A.Last), Universität Karlsruhe 2002 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | 01.01.2002 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |