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URN: urn:nbn:de:0005-073786

Megaschallunterstützter Stofftransport in LIGA-Mikrostrukturen

Lisinenkova, Maria; Hahn, L.; Schulz, J.; Bade, K.

Abstract:
Die Herstellung von hohen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis ist eine aktuelle Aufgabe der LIGA-Technologie. Um die Prozessdauer der nasschemischen Prozessschritte wie Entwicklung und Galvanoformung zu minimieren und die hohe Qualität der Mikrostrukturen zu gewährleisten, sollten die Stofftransportbedingungen untersucht und optimiert werden.
Ziel dieser Arbeit ist, den Wirkmechanismus des Megaschalls auf den Stofftransport vor allem in LIGA-Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis experimentell aufzuklären.
Als Untersuchungsmethode wurde die elektrochemische Gre ... mehr

Abstract (englisch):
Megasonic Supported Mass Transport in LIGA-Microstructures
The manufacturing of high microstructures with high aspect ratios is a relevant task of LIGA-technology. In order to minimise processing time of wet chemical process steps such as developing and electroforming, and to provide the highest microstructure quality, the mass transfer conditions should be investigated and optimised.
The aim of this work is to experimentally clarify the action mechanism of megasonics, in particular, its effect on mass transfer in LIGA-microstructures.
The electrochemical limiting c ... mehr


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2008
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0947-8620
KITopen ID: 200070726
Reportnummer: FZKA-7378
HGF-Programm 43.01.01; LK 01
Verlag FZKA, Karlsruhe
Umfang IV, 11 S.
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7378
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 02.11.2007 Lisinenkova, Maria
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