Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials
Haj-Taieb, M.; Aktaa, J.; Bade, K.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0947-8620 urn:nbn:de:0005-074923 KITopen-ID: 200077473 Reportnummer: FZKA-7492 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik |
| Verlag | FZKA |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7492 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | 01.01.2009 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Zugl.: Dissertation von: M. Haj-Taieb |