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Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials

Haj-Taieb, M.; Aktaa, J.; Bade, K.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/200077473
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0947-8620
urn:nbn:de:0005-074923
KITopen-ID: 200077473
Reportnummer: FZKA-7492
HGF-Programm 43.04.03 (POF II, LK 01)
Verlag FZKA, Karlsruhe
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7492
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 01.01.2009
Bemerkung zur Veröffentlichung Zugl.: Dissertation von: M. Haj-Taieb
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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