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URN: urn:nbn:de:0005-074923

Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials

Haj-Taieb, M.; Aktaa, J.; Bade, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0947-8620
KITopen ID: 200077473
Reportnummer: FZKA-7492
HGF-Programm 43.04.03; LK 01
Verlag FZKA, Karlsruhe
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 7492
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten 01.01.2009
Bemerkung zur Veröffentlichung Zugl.: Dissertation von: M. Haj-Taieb
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