Temperaturmessung auf einer 3 μm duennen Maskentraegerfolie waehrend des reaktiven Ionenaetzens
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 204592 |
| HGF-Programm | 16.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Info - Informationszeitschrift aus dem Hause Polytec |
| Seiten | 22 |
| Erscheinungsvermerk | Info, Informationsz. aus d. Hause Polytec 1991 Juni S. 22. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S99 |