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Temperaturmessung auf einer 3 μm duennen Maskentraegerfolie waehrend des reaktiven Ionenaetzens

Schomburg, W.K.; Heidinger, M.; Kadel, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 204592
HGF-Programm 16.01.02; LK 01
Erschienen in Info - Informationszeitschrift aus dem Hause Polytec
Seiten 22
Erscheinungsvermerk Info, Informationsz. aus d. Hause Polytec 1991 Juni S. 22.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S99
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