The LIGA process - a tool for the fabrication of microstructures used in mechatronics

Mohr, Juergen; Bacher, Walter; Bley, Peter; Strohrmann, Manfred; Wallrabe, Ulrike

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seit 08.09.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 204992
Erscheinungsvermerk	In: Recueil des communications. Mecatronics. 1er Congres Franco-Japonais de Mecatronique, Besancon 1992. Institut des Microtechniques de Franche-Comte u.a. S. 1-7.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 93S118