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The LIGA process - a tool for the fabrication of microstructures used in mechatronics

Mohr, Juergen; Bacher, Walter; Bley, Peter; Strohrmann, Manfred; Wallrabe, Ulrike



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 204992
Erscheinungsvermerk In: Recueil des communications. Mecatronics. 1er Congres Franco-Japonais de Mecatronique, Besancon 1992. Institut des Microtechniques de Franche-Comte u.a. S. 1-7.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S118
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