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Magnetically driven micro ball valve fabricated by multilayer adhesive film bonding

Fu, Chien-Chung; Truckenmueller, Roman; Rummler, Zeno; Schomburg, Werner K.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/22004
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 22004
Reportnummer: FZKA-6960
HGF-Programm 41.09.01 (POF I, LK 01) Fluidische Systeme
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 2004. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6960.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 19.11.2003 von Chien-Chung Fu.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 19.11.2003
Externe Relationen Abstract/Volltext
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